高溫真空氣氛爐是在真空環境中進行加熱的設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。高溫真空氣氛爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。
高溫真空氣氛爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的高溫真空氣氛爐在才次使用時高溫真空氣氛爐泄漏故障比較易發生。這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統運轉，10min后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次(進行烘爐)。
